ST宣布其压电式MEMS技术进入商用阶段
意法半导体(STMicroelectronics,简称ST)宣布,其创新的压电式MEMS技术已进入商用阶段。创新的压电式技术(piezoelectrictechnology)凭藉意法半导体在MEMS设计和制造领域的长期领导优势,将可创造更多的新兴应用商机。意法半导体的薄膜压电式(Thin-FilmPiezoelectric,TFP)MEMS技术是一个可立即使用且可任意客制化的平台,使意法半导体能与全球客户合作开发各种MEMS应用产品。
本文引用地址:是首批采用意法半导体的薄膜压电式(TFP)技术的企业,其创新的TLens(可调式镜头)透过压电式致动器(piezoelectricactuator)改变透明聚合薄膜(transparentpolymerfilm)的形状,模拟人眼对焦功能。这项应用被视为相机自动对焦(AFs)的最佳解决方案。而目前的自动对焦功能仍主要依赖于体积较大、耗电量高且成本昂贵的音圈电动马达(VCM)。
意法半导体最新薄膜压电式MEMS技术平台试产线(pilotline)的部分资金来自欧洲LAB4MEMS补助计画。这项技术将为致动器带来更多具发展潜力的应用,例如商用、工业用和3D列印的喷墨印头(inkjetprinthead),甚至是用于能源收集(energyharvesting)的压电式感测器。意法半导体预计于2015年中为试用客户提供薄膜压电式MEMS产品。
压电式效应是指某些特定材料受到外部机械压力后所产生的物理现象。(又称正压电式效应)。反之,某些材料在被施加电场后会呈现线性扩缩(又称反压电式效应)。这种现象被广泛用于各项应用中,从单纯的打火机到较复杂的扫描穿隧式显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,STM)。然而,现有的应用设计多数采用体积较大且成本昂贵的陶瓷。意法半导体的薄膜压电式MEMS技术具备低功耗和高速压电式反应以及半导体制造技术的低成本优势。
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